DOP等用壓縮空氣把溶液中的液體通過Laskin噴管霧化成多分散系DOP等,粒徑在0.1~lμm,t>0.35μm的占90%以上。單分散系DOP,現(xiàn)常用DEHS,加熱至一定溫度其溶液蒸發(fā)然后冷卻之,控制冷卻溫度以控制粒徑。采用多分散的DOP測得的過濾器效率要比用單分散的為高,其間現(xiàn)尚無轉(zhuǎn)換關(guān)系可循。
時間:2019-12-27 03:29:53
DOP用于HEPA過濾器效率測量,已有近40年歷史,近幾年來懷疑其所含環(huán)苯是致癌物質(zhì),現(xiàn)改用DOS DEHS(常用于單分散的)。這些物質(zhì)對IC及盤片驅(qū)動器生產(chǎn)早已認(rèn)為對產(chǎn)品有害,因此現(xiàn)常用聚
DOP等用壓縮空氣把溶液中的液體通過Laskin噴管霧化成多分散系DOP等,粒徑在0.1~lμm,t>0.35μm的占90%以上。單分散系DOP,現(xiàn)常用DEHS,加熱至一定溫度其溶液蒸發(fā)然后冷卻之,控制冷卻溫度以控制粒徑。采用多分散的DOP測得的過濾器效率要比用單分散的為高,其間現(xiàn)尚無轉(zhuǎn)換關(guān)系可循。